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蛍光Ｘ線式測定器XDLM® 237 導入
蛍光Ｘ線式測定器 FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237 導入のお知らせ
当社では令和4年10月18日付けをもって先端設備導入計画については、中小企業等経営強化法第52条の規定に基づき認定を受けました。
中小企業等経営強化法の経営力向上設備等及び先端設備等に係る生産性向上を目的としています。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237
比例計数管（PC）タイプの蛍光Ｘ線膜厚測定器です。
4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種となり、電子部品や半導体産業での機能性多層膜測定などにも適しています。
特長
- Ｘ線管球にマイクロフォーカスチューブを搭載し、より小さな測定スポットで分析
- ハウジングに細い開口部（Ｃスロット）があり、大きな板状サンプルも測定可能
- 4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種
主な仕様
- 上から照射型の蛍光Ｘ線による膜厚測定と素材分析装置となります。
- プログラム可能なXYステージにより、自動連続測定をすることも可能です。
| 型式 | XDLM 237 |
|---|---|
| 測定元素範囲 | Ca（20）～U（92） |
| Ｘ線検出器 | 比例計数管（PC） |
| Ｘ線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
| プライマリフィルター | 3種類 |
| コリメーター数／サイズ | 4種／0.05 x 0.05mm～Φ0.2mm |
| 本体寸法 | 570 x 760 x 650mm （幅 x 奥行 x 高さ） |
| 消費電力 | 最大120W |
主な用途
- コネクター、接点部品の膜厚測定
- 電子部品・半導体産業での機能性多層膜測定
- プリント基板産業のAu、Pd、Ni薄膜測定
- 自動車部品のZn、Zn-Ni膜測定